一、 核心定位與含義解析
二、 在半導體制造工藝中的應用
這種高等級天平在半導體工廠中主要用于對精度和可靠性要求極的高的環節:
化學溶液配制
CMP工藝
薄膜沉積(CVD/ALD)
三、 GX-L系列的主要特點與技術優勢(為何適合半導體行業)
內置校準砝碼 - 核心優勢
確保測量溯源性與準確性: 內置砝碼通常可追溯至國際質量標準(如NMIJ),確保校準的權的威性和準確性。
極的高的便利性與效率: 無需人工尋找、拿取外部砝碼,避免了砝碼污染、損壞和丟失的風險。可以一鍵校準,或設定定時自動校準(如每4小時一次),確保天平始終處于最佳狀態。
維持潔凈室環境: 避免了外部砝碼帶入污染物,是維持潔凈室等級的關鍵設計。
高防護等級
高精度與穩定性
符合法規與質量控制要求
用戶友好設計
四、 與之前器件的關聯對比
我們可以將這三個日本儀器在半導體制造中的作用聯系起來看:
KEM S-AERD(放射率計): 在 “研發與參數設定" 階段,負責測量材料的基礎物理屬性(發射率),為測溫提供輸入。
HORIBA IT-545(輻射溫度計): 在 “工藝過程控制" 階段,作為產線的“眼睛",實時監測 最關鍵的過程變量——溫度。
A&D GX-L(電子天平): 在 “原材料準備與質量控制" 階段,作為精密的“秤",精確測量 投入物料的質量,確保配方準確。
總結
日本A&D的 GX-L系列“分銅內藏型"電子天平 是半導體等高技術產業中物料稱量環節的可靠性基石。其內置校準功能 和高防護等級 的設計,完的美地解決了半導體制造中對測量準確性、操作效率和潔凈室兼容性的極的致要求,是保障前端化學品制備質量的關鍵設備。